超潔凈不銹鋼管道、管件、閥門(mén)的定義
用途：不銹鋼潔凈管道用于輸送半導體業(yè)中高純或超純潔凈氣體，及生物制藥產(chǎn)業(yè)中潔凈管道（各種水）。
表面處理方式：
RA 值的比較（Roughness Average,粗糙度平均值）
材質(zhì)        表面處理方式        內表面粗糙度平均值（um）
316L        AP                 RA〈=1.0
316L        BA                 RA〈=0.8
316L        EP                 RA〈=0.13-0.2
純氣配管技術(shù)是高純氣體供氣系統的重要組成部分，是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù)；所謂高純氣配管技術(shù)包括系統的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內容。近年來(lái)以大規模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴格的要求，使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。以下針對高純氣體輸送從選材到施工以及驗收、日常管理作個(gè)簡(jiǎn)單的概述。

常見(jiàn)氣體的種類(lèi)
電子行業(yè)中常見(jiàn)氣體的分類(lèi)：
普通氣體，也稱(chēng)大宗氣體 （Bulk gas ）：氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（A2）等
特種氣體（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等
特殊氣體的種類(lèi)一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等，一般常用的半導體氣體分類(lèi)如下：
(一)、腐蝕性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
(二)、可燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等
(三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3…等5
(四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等
半導體氣體很多是對人體有害。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會(huì )與空氣中的氧氣起劇烈反應，開(kāi)始燃燒；還有AsH3的劇毒性，任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害，也就是因為這些顯而易見(jiàn)的危險，所以對于系統設計安全性的要求就特別高。   

氣體的應用范圍
氣體產(chǎn)品作為現代工業(yè)重要的基礎原料，應用范圍十分廣泛，在冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫藥醫療等部門(mén)，均使用大量的常用氣體或特種氣體。氣體的應用，特別對這些領(lǐng)域的高新技術(shù)有重要的影響，是其不可缺少的原料氣或工藝氣。也只有各種新興工業(yè)部門(mén)和現代科學(xué)技術(shù)的需要和推動(dòng)，氣體工業(yè)產(chǎn)品才能在品種、質(zhì)量和數量等方面得到飛躍發(fā)展。
氣體在微電子、半導體行業(yè)中應用
氣體的使用在半導體制程中一直扮演著(zhù)重要的角色，特別是半導體制程目前已被廣泛的應用于各項產(chǎn)業(yè)，凡舉傳統的ULSI、TFT-LCD到現在的微機電(MEMS)產(chǎn)業(yè)，皆以所謂的半導體制程為產(chǎn)品的制造流程，其中的制程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當多的氣體，而氣體的純度則對組件性能、產(chǎn)品良率有著(zhù)決定性的影響，氣體供應的安全性則關(guān)乎人員的健康與工廠(chǎng)運作的安全。

高純管道在高純氣體輸送中的意義
在不銹鋼熔煉制材過(guò)程中，每噸可吸收大約200g的氣體。不銹鋼材加工完畢，不僅其表面粘有各種污染物，而且在其金屬晶格內也吸留有一定量的氣體。當管路中有氣流通過(guò)時(shí)，金屬所吸留的這部分氣體會(huì )重新進(jìn)入氣流中，污染純凈氣體。當管內氣流為不連續流動(dòng)時(shí)，管材對所通過(guò)的氣體形成壓力下吸附，氣流停止通過(guò)時(shí)，管材所吸附的氣體又形成降壓解析，而解析的氣體同樣作為雜質(zhì)進(jìn)入管內純凈氣體中。同時(shí)，吸附、解析周而復始，使得管材內表面金屬也會(huì )產(chǎn)生一定的粉末，這種金屬粉塵粒子同樣污染管內純凈的氣體。管材的這一特性至關(guān)重要，為了確保輸送的氣體的純凈度，不僅要求管材內表面有一個(gè)極高的光滑度，而且，應當具有很高的耐磨特性。
腐蝕性能較強的氣體時(shí)，必須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，管材將會(huì )由于腐蝕而在內表面產(chǎn)生腐蝕斑，嚴重時(shí)會(huì )出現大片金屬剝離甚至穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。
大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接，原則上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊時(shí)組織不發(fā)生變化。含碳過(guò)高的材料在焊接時(shí)，受焊接部位的透氣，使得管內外氣體的相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，導致我們的各項努力全部失去意義。
綜上所述，對于高純氣體及特種氣體輸送管道，必需采用一種特種處理的高純不銹鋼管，至使高純管道系統（包含管道、管件、閥門(mén)、VMB、VMP）在高純氣體配送中占有至關(guān)重要的使命

輸配管道潔凈技術(shù)的一般概念
高純、潔凈氣體體輸送配管道，是指對輸送氣體的“三度”有一定的要求或控制。
氣體純度：氣體中雜質(zhì)氣氛的含量，通常用氣體純度的百分數來(lái)表示，如99.9999%,也用雜質(zhì)氣氛含量的體積比ppm 、ppb、 ppt表示。
干燥度：氣體中微量水分的含量，或稱(chēng)之為濕量，通常以露點(diǎn)表示，如常壓露點(diǎn)-70℃。
潔凈度：氣體中含有污染物粒子的數量，粒徑為?m的粒子，多少粒/M3 來(lái)表示，對于壓縮空氣，通常也用不可避免的固體殘留物的多少mg/m3來(lái)表示，其中涵蓋了含油量。  |# N8 e; v: W. E0 y
污染物大小分類(lèi)：污染物粒子，主要指管道沖刷、磨損、腐蝕產(chǎn)生的金屬粒子、大氣煙塵粒子，以及微生物、噬菌體以及含濕氣體凝聚的液滴等，按其粒徑的大小分為：
a)大粒子—粒徑在5μm以上
b)粒子—料徑在0.1μm-5μm之間
c)超微粒子—粒徑小于0.1μm。
為增強應用本技術(shù)時(shí)，能夠對粒子大小和μm單位的感性認識，現提供一組具體的粒子狀況，供對照參考
以下為具體粒子對照
名稱(chēng)        粒徑um          名稱(chēng)        粒徑um         名稱(chēng)        粒徑um
病毒        0.003-0.06       氣溶膠      0.03-1         霧化微滴        1-124
核燃 料   0.01-0.1          漆料        0.1-6           飛灰            1-200
碳黑       0.01-0.3          奶粉        0.1-10          殺蟲(chóng)劑           5-10
樹(shù)脂        0.01-1            細菌        0.3-30          水泥塵          5-1001
香煙煙霧    0.01-1           砂塵        0.5-5           花粉            10-15
硅膠        0.02-0.1          殺蟲(chóng)劑        0.5-10        人發(fā)            50-120
結晶鹽        0.03-0.5        濃硫塵        1-11          海沙          100-1200

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