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潔凈室涂布機使用操作方法
發(fā)布時(shí)間：2011-10-14 00:00:00 瀏覽：58
潔凈室涂布機使用操作方法
1. 首先將PUMP的電源插頭插入涂布機后面的電源插座。
2. 將涂布機的插頭插入110V的電源插座，然后按下【POWER】鍵。
3. 設定旋轉的轉速及時(shí)間，本機型為二段式加速的Spin Coating，右邊為第一段加速，左邊為第二段加速。
4. 依不同尺寸的基材，可更換不同的旋轉轉盤(pán)做涂布的動(dòng)作。
5. 按下【PUMP】鍵，此時(shí)旋轉轉盤(pán)會(huì )吸住基材，然后將光阻依螺旋狀從基材中心均勻且慢慢的往外涂開(kāi)至適當的量，在做光阻涂開(kāi)動(dòng)作時(shí)可先用氮氣將旋轉轉盤(pán)周?chē)盎拇登瑑簟?/span>
6. 蓋上涂布機的保護蓋，以防止光阻濺出涂布機外。
7. 按下【START】鍵，涂布機便開(kāi)始做涂布的動(dòng)作。
8. 涂布完畢后，打開(kāi)保護蓋，按下【PUMP】鍵旋轉轉盤(pán)會(huì )放開(kāi)基材，便可以將基材取出。
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