潔凈室光罩對對準機使用操作方法

曝光機簡(jiǎn)介

    在半導體製程中，涂佈光阻后的晶片，須經(jīng)UV紫外光照射曝光顯影，此臺曝光機為OAI 200系列，整合光罩對準、UV紫外光曝光顯影、UV紫外光測量裝置及光罩夾持裝置。

    OAI 200系列為一入門(mén)型光罩對準儀，可以手動(dòng)操作更改各項使用參數，如曝光時(shí)間、曝光強度及曝光功率等等。對於中高階的線(xiàn)寬有很好的顯影效果，此系列大可使用四吋的晶片，大的曝光功率為1KW。

曝光機使用步驟

1.    檢查氮氣鋼瓶〈AIR 60psi〉〈N2 20psi〉以及黃光室的氮氣閥、空氣閥是否有開(kāi)啟。開(kāi)啟曝光機下方延長(cháng)線(xiàn)的紅色總開(kāi)關(guān)，再開(kāi)啟曝光機、顯微鏡。

2.    接上隧道式抽風(fēng)馬達電源，進(jìn)行曝光機抽風(fēng)步驟，并檢查曝光機上方汞燈座后面進(jìn)風(fēng)口是否有進(jìn)氣。如果風(fēng)量微小或者無(wú)進(jìn)氣，則無(wú)法開(kāi)啟汞燈的電源〈會(huì )有警報聲〉。確定進(jìn)風(fēng)口有進(jìn)氣后，才可開(kāi)啟曝光機下方的汞燈電源供應器ON/OFF開(kāi)關(guān)。

3.    按住汞燈電源供應器之START鍵，約1~3秒鐘，此時(shí)電流值會(huì )上升〈代表汞燈點(diǎn)亮，開(kāi)始消耗電流〉，馬上放掉按鍵，汞燈即被點(diǎn)亮。

4.    汞燈點(diǎn)亮后，至少須待機30分鐘，使Lightsour系統穩定。假使汞燈無(wú)法點(diǎn)亮，請不要作任何修護動(dòng)作。

5.    待系統穩定后，把電源供應器上的電壓、電流值填到紀錄表上，每一次開(kāi)燈使用都要登記作為紀錄。

6.    旋開(kāi)光罩夾具之螺絲，光罩之正面〈鍍鉻面〉朝下，對準三個(gè)基準點(diǎn)，壓下【MASK VAC.】鍵，使真空吸住光罩，再鎖好螺絲以固定光罩。

注意：

＊ MASK Holder 必須放下時(shí)才能放置光罩。扳動(dòng)【MASK FRAME UP/DOWN】可使MASK Holder升起或放下。

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