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潔凈室標準規格說(shuō)明
發(fā)布時(shí)間：2011-01-16 00:00:00 瀏覽：109
目前世界各國雖有自訂的潔凈室標準規格，但普遍還是采用美國聯(lián)邦標準209為多，今就209D及209E和世界上其他各國之所訂標準再做更進(jìn)一步之介紹與相互比較。表1-1為美國聯(lián)邦標準209D之潔凈室規格。
表1-1 美國聯(lián)邦標準209D潔凈室規格
潔凈室級數（Class) | 微塵粒子 | 壓力 | 溫度 | 風(fēng)速與換氣率（次/hr) | 照度lux | ||||||
| 粒子大小um | 粒子數目Particles/ft3 | mmAg | 值域℃ | 推薦值℃ | 誤差值℃ | 大MAX% | 小MIN% | 誤差% | 層流方式0.35~0.55 m/s | 1080 ~ 1620 | |
| 1 | ≧0.5 | ≦1 | ＞1.3 | 19.4~25 | 22.2 | ±2.8 特 殊 需 求 ±1.4 | 45 | 30 | ±10 特 殊 需 求 | ||
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