潔凈室是什么?

     一、潔凈室之定義 
　　
　　潔凈室(Clean Room)，亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。
　　是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　　二、潔凈室作用 　　
　　潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。

　　三、潔凈室控管之項目 
　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。 
　　2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。 
　　3. 溫度和濕度之控制。 
　　4. 壓力之調節。 
　　5. 有害氣體之排除。
　　6. 結構物與隔間之氣密性。
　　7. 靜電之防制。
　　8. 電磁干擾預防。 
　　9. 安全因素之考慮。  
　　10. 節能之考量。

　　四、潔凈室之分類(lèi)
　　1.亂流式(Turbulent Flow)： 
　　空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。 
　　
　　優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高潔凈室等級。 
　　
　　缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。

　　2.層流式(Laminar)：  
　　層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種： 
　　
　　(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。 
　　
　　優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。 
　　
　　缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。 
　　
　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。 
　　
　　優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 
　　
　　缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。

　　3.復合式(Mixed Type)： 
　　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。 
　　
　　(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。
　　此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。 
　　
　　潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易； B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。 
　　
　　(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。 
　　
　　(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。 
　　
　　潔凈工作臺：等級Class 1~100級。 
　　
　　潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運用。
　　五、潔凈室之構成 
　　
　　潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無(wú)法構成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室： 
　　
　　(1)天花板系統：包括吊桿(iling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(iling grid或ilingframe)。 
　　
　　(2)空調系統：包括空氣艙、過(guò)濾器系統、風(fēng)車(chē)等。 
　　
　　(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶(hù)、門(mén)。 
　　
　　(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。 
　　
　　(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。 
　　
　　潔凈室之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構造，必須滿(mǎn)足如下之條件： 
　　A.不會(huì )因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕； 
　　B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著(zhù)粒子； 
　　C.吸濕性??； 
　　D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高；

　　六、潔凈室按用途分類(lèi)（可分為兩大類(lèi)）
　?。?）、工業(yè)潔凈室——以無(wú)生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)（半導體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤(pán)、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤(pán)、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
　?。?）、生物潔凈室，主要控制有生命微粒（細菌）與無(wú)生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為：
　　A、一般生物潔凈室，主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時(shí)其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例：制藥工業(yè)、醫院（手術(shù)室、無(wú)菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗室、理化檢驗室、血站等。
　　B、生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗室、物物工程（重組基因、疫苗制備）等。

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