這種方式一般是采用數臺大型新風(fēng)處理機組和凈化循環(huán)機組集中設置在空調機房?jì)?，空調機房可位于潔凈室凈化工程的側面或頂部經(jīng)過(guò)濕度、濕度處理和過(guò)濾后的空氣由離心風(fēng)機或軸瀝風(fēng)機加壓后通過(guò)風(fēng)道送人送風(fēng)靜壓箱，再經(jīng)由高教過(guò)濾器或超高放過(guò)濾鋁過(guò)濾后送人潔凈室凈化工程?；仫L(fēng)經(jīng)格柵地板系統，流入回風(fēng)靜壓箱再回到凈化循環(huán)系統，如此反復循環(huán)運行。
    (1)隧道潔凈室凈化工程送風(fēng)方式
這種送風(fēng)方式一般把潔凈室凈化工程劃分為生產(chǎn)核心區、維護區，生產(chǎn)核心區要求商潔凈度和嚴格的溫、濕度控制，設在單向流送風(fēng)區內：維護區要求較低，設置生產(chǎn)輔助設備或無(wú)潔凈要求的生產(chǎn)設備的層部和配管配線(xiàn)犁，生產(chǎn)區為送風(fēng)區，維護區為回風(fēng)區，構成空氣循環(huán)系統。一般隧道式送風(fēng)是由多臺循環(huán)空氣系統組成，所以其中一臺循環(huán)機組出現故障不會(huì )影響其他區域的生產(chǎn)環(huán)境桔凈度，并且各個(gè)循環(huán)系統可根據產(chǎn)品生產(chǎn)需要進(jìn)行分區調整控制。
    (2) FFU 風(fēng)機過(guò)濾單元送風(fēng)方式
這是在潔凈室凈化工程助吊頂上安裝多臺風(fēng)機過(guò)濾單元機組(Fan Filter unit，簡(jiǎn)稱(chēng)FFU)，構成凈化循環(huán)機組，不需要配置凈化循環(huán)空調機房，送風(fēng)靜壓箱為負壓?？諝庥蒄FU送到潔凈室凈化工程，從回風(fēng)靜壓箱經(jīng)兩側夾道回至送風(fēng)靜壓箱，根據潔凈室凈化工程的溫度調節需要，一放在回風(fēng)夾道設干式表冷器。新風(fēng)處理機可集中設在空調機房?jì)?，處理后新風(fēng)直接送人送風(fēng)靜壓箱。因送風(fēng)靜壓箱為負壓，有利于高效過(guò)濾器頂棚的密封；但由于FFU機組臺數較多，在滿(mǎn)布串較高時(shí)，一放投資較大，運行費用亦多．有的PFH噪聲較大，選用時(shí)需要注意。
    (3)模塊式 FFU風(fēng)機過(guò)濾單元 送風(fēng)方式
它是由迭風(fēng)機安裝在u四A或u12A之上，1臺送風(fēng)機可配數臺高效過(guò)濾器的空氣循環(huán)系統，這種模塊式風(fēng)機單元(FMModdeudt，簡(jiǎn)稱(chēng)FMu)循環(huán)系統是無(wú)風(fēng)管道方式，空氣轄關(guān)速度較低，送風(fēng)機和過(guò)濾器維修較方便，能量消耗較少。
   (4)開(kāi)放式潔凈室凈化工程的送風(fēng)方式
這種方式是為了確保日益要求生產(chǎn)環(huán)境極為嚴格的半導體芯片生產(chǎn)的關(guān)鍵工序或設備的微環(huán)境控制達到高潔凈度等級，而其周?chē)拈_(kāi)放式大面積潔凈環(huán)境僅保持在相對較差的潔凈度等級，微環(huán)境內控制沽凈度嚴格的單向流潔凈環(huán)境，而開(kāi)放式潔凈室凈化工程為單向流或泄合流 潔凈室 凈化工程。這種方式的能量消耗較少，工藝布置靈活性好．建設投資和運行費用都可以降低。

文章來(lái)源：http://liaokui.cn/   TEL:蘇小姐-13570963006  黃生-13570963007