潔凈工程，即潔凈室，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　　潔凈室的分類(lèi)有以下幾種：

　　亂流式

　　空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

　　定義：氣流以不均勻速度不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室。

　　原理：亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋?zhuān)瑏?lái)實(shí)現潔凈的（亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬(wàn)級凈化級別）。

　　特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來(lái)實(shí)現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）

　?。?）自?xún)魰r(shí)間：是指潔凈室按設計換氣次數開(kāi)始送風(fēng)到潔凈室，室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時(shí)間。1,000級希望不超過(guò)20min(分鐘)(可取15min計算)10,000級希望不超過(guò)30min(分鐘)(可取25min計算)100,000級希望不超過(guò)40min(分鐘)(可取30min計算)

　?。?）換氣次數（按上述自?xún)魰r(shí)間要求設計）1,000級43.5-55.3次/小時(shí)(規范:50次/小時(shí))10,000級23.8-28.6次/小時(shí)(規范:25次/小時(shí))100,000級14.4-19.2次/小時(shí)(規范:15次/小時(shí))

　　優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高潔凈室等級。

　　缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。

　　層流式(Laminar)

　　層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

　　優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。

　　缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。

　　優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

　　缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。

　　復合式(MixedType)

　　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　(1)潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。

　　此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。

　　潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易；B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。

　　(2)潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

　　(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈棚、裝配式潔凈室、潔凈衣柜即屬此類(lèi)。

　　潔凈工作臺：等級Class1~100級。

　　潔凈棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運用。

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