高效空氣過(guò)濾器一般稱(chēng)為HEPA FILTER 和ULPA FILTER也可稱(chēng)為絕對過(guò)濾器 Absolute Air Filter，此類(lèi)過(guò)濾器通常用于終端之位置，其過(guò)濾對象為低濃度之微細粒子,且具有級高之捕集效率是維持無(wú)塵室內潔凈度重要的過(guò)濾器，其捕集塵埃之原理如下:
濾過(guò)原理(Filtration)
擴散捕捉原理(Diffusion)
沖突原理(Impact)或稱(chēng)慣性原理(Inertia)
濾過(guò)原理(Filtration)

塵埃粒子通過(guò)濾材時(shí)，其大于濾材線(xiàn)維與線(xiàn)維之間距的例子被阻擋，也就是塵埃粒徑大于間距就會(huì )有過(guò)濾效果。 如下圖所示：
 擴散捕捉原理(Diffusion)
粒徑之微塵，由于布朗運動(dòng)、重力、離子化等原因，在線(xiàn)維表面磨察通過(guò)，此時(shí)發(fā)生靜電，塵埃即會(huì )附著(zhù)于線(xiàn)維上達到捕集作用，其通過(guò)濾材風(fēng)速越低， 粒徑越小，其效果越佳。 如下圖所示：
 
沖突原理(Impact)
空氣在濾材線(xiàn)維間流動(dòng)時(shí)，因粒子之流動(dòng)慣性力作用，急速沖擊于線(xiàn)維表面而附著(zhù)，其通過(guò)濾材風(fēng)速越快，效果越佳。如下圖所示：
 
整體捕集效率
沖突原理對于微塵粒徑＞0.1μm以上者其捕集效率高；擴散捕捉對于微塵粒徑≦0.05μm 以下之粒子具有較高之效率；而濾過(guò)原理則在三種捕集原理中，其捕捉之效率較低。

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